• Luận văn
  • Ký hiệu PL/XG: 531.1134 Đ450T
    Nhan đề: Nghiên cứu thiết kế cảm biến đo áp suất mems kiểu điện dung độ nhạy cao phù hợp với công nghệ ăn mòn khô :

DDC 531.1134
Tác giả CN Đỗ, Anh Toản
Nhan đề Nghiên cứu thiết kế cảm biến đo áp suất mems kiểu điện dung độ nhạy cao phù hợp với công nghệ ăn mòn khô :Luận văn thạc sĩ Khoa học vật chất. Chuyên ngành: Vật lí chất rắn /Đỗ Anh Toản; PGS.TS Đinh Văn Dũng (Hướng dẫn khoa học)
Thông tin xuất bản H. :Trường Đại học Sư phạm Hà Nội 2 [phát hành],2013
Mô tả vật lý 58tr. ;29cm +
Phụ chú ĐTTS ghi: Bộ Giáo dục và Đào Tạo. Trường Đại học Sư phạm Hà Nội 2
Tóm tắt Mô phỏng và thiết kế mẫu cảm biến đo áp suất mems kiểu điện dung độ nhạy cao, phù hợp với công nghệ ăn mòn khô
Từ khóa tự do Công nghệ ăn mòn
Từ khóa tự do Điện dung
Từ khóa tự do Vật lí
Tác giả(bs) CN Đinh, Văn Dũng,
Địa chỉ 100Kho Luận văn(1): LV00992
00001083nam a2200265 4500
00121368
0022
004TVSP2140021436
008140529s2013 vm| vie
0091 0
039|a20210122201728|blibol55|y20140529101500|zyenntn
041|avie
044|avm
08214|a531.1134|bĐ450T
1001|aĐỗ, Anh Toản
24510|aNghiên cứu thiết kế cảm biến đo áp suất mems kiểu điện dung độ nhạy cao phù hợp với công nghệ ăn mòn khô :|bLuận văn thạc sĩ Khoa học vật chất. Chuyên ngành: Vật lí chất rắn /|cĐỗ Anh Toản; PGS.TS Đinh Văn Dũng (Hướng dẫn khoa học)
260|aH. :|bTrường Đại học Sư phạm Hà Nội 2 [phát hành],|c2013
300|a58tr. ;|c29cm +|e01 bản tóm tắt + 01 đĩa
500|aĐTTS ghi: Bộ Giáo dục và Đào Tạo. Trường Đại học Sư phạm Hà Nội 2
520|aMô phỏng và thiết kế mẫu cảm biến đo áp suất mems kiểu điện dung độ nhạy cao, phù hợp với công nghệ ăn mòn khô
653|aCông nghệ ăn mòn
653|aĐiện dung
653|aVật lí
70011|aĐinh, Văn Dũng,|eHướng dẫn khoa học
852|a100|bKho Luận văn|j(1): LV00992
890|a1|b0|c1|d2
915|aVật lí chất rắn,|b60440104,|cThạc sĩ,|dTrường Đại học Sư phạm Hà Nội 2
Dòng Mã vạch Nơi lưu Chỉ số xếp giá Loại tài liệu Bản sao Tình trạng Thành phần Đặt mượn
1 LV00992 Kho Luận văn 531.1134 Đ450T Luận án, luận văn 1