Dòng Nội dung
1
Nghiên cứu thiết kế cảm biến đo áp suất mems kiểu điện dung độ nhạy cao phù hợp với công nghệ ăn mòn khô : Luận văn thạc sĩ Khoa học vật chất. Chuyên ngành: Vật lí chất rắn / Đỗ Anh Toản; PGS.TS Đinh Văn Dũng (Hướng dẫn khoa học)

H. : Trường Đại học Sư phạm Hà Nội 2 [phát hành], 2013
58tr. ; 29cm +

Mô phỏng và thiết kế mẫu cảm biến đo áp suất mems kiểu điện dung độ nhạy cao, phù hợp với công nghệ ăn mòn khô
Đầu mục:1 (Lượt lưu thông:0) Tài liệu số:1 (Lượt truy cập:2)